Bagaimana cara menggiling dan memoles substrat silikon karbida?

Ada empat proses utama untuk menggiling dan memoles substrat silikon karbida: penggilingan kasar, penggilingan halus, pemolesan kasar, dan pemolesan halus.
Dalam proses penggilingan kasar, cairan pemoles alumina digunakan untuk bersentuhan langsung dengan permukaan benda kerja dan terus menerus melakukan pemotongan dan penggilingan untuk meningkatkan hasil akhir pemolesan permukaan wafer silikon.
Dalam proses penggilingan halus, cairan pemoles berlian digunakan untuk menggiling dan memoles wafer semikonduktor untuk mendapatkan kualitas permukaan yang halus.
Selama proses pemolesan kasar wafer semikonduktor, cairan pemoles kalium permanganat ungu digunakan untuk bersentuhan langsung dengan permukaan silikon karbida untuk menimbulkan reaksi oksidasi, dan permukaan silikon karbida teroksidasi.
Terakhir, dalam proses pemolesan halus wafer semikonduktor, cairan pemoles sol silika dapat digunakan dengan bantalan pemoles halus kain peredam untuk pemolesan. Bagaimana cara menggiling dan memoles substrat silikon karbida?
Ada empat proses utama untuk menggiling dan memoles substrat silikon karbida: penggilingan kasar, penggilingan halus, pemolesan kasar, dan pemolesan halus.
Dalam proses penggilingan kasar, cairan pemoles alumina digunakan untuk bersentuhan langsung dengan permukaan benda kerja dan terus menerus melakukan pemotongan dan penggilingan untuk meningkatkan hasil akhir pemolesan permukaan wafer silikon.
Dalam proses penggilingan halus, cairan pemoles berlian digunakan untuk menggiling dan memoles wafer semikonduktor untuk mendapatkan kualitas permukaan yang halus.
Selama proses pemolesan kasar wafer semikonduktor, cairan pemoles kalium permanganat ungu digunakan untuk bersentuhan langsung dengan permukaan silikon karbida untuk menimbulkan reaksi oksidasi, dan permukaan silikon karbida teroksidasi.
Terakhir, dalam proses pemolesan halus wafer semikonduktor, cairan pemoles sol silika dapat digunakan dengan bantalan pemoles halus kain peredam untuk pemolesan.