Di mana wafer pemoles wafer silikon digunakan?

Wafer yang dipoles merupakan produk yang paling banyak digunakan, dan produk wafer silikon lainnya diproduksi melalui pemrosesan sekunder berdasarkan wafer yang dipoles.
Wafer poles merupakan wafer silikon paling dasar dengan jangkauan aplikasi terluas. Wafer poles dapat langsung digunakan untuk membuat perangkat semikonduktor dan banyak digunakan dalam chip memori dan perangkat daya. Wafer ini juga dapat digunakan sebagai bahan substrat untuk jenis wafer silikon lainnya seperti wafer epitaksial dan wafer silikon SOI.
Karena lebar garis karakteristik sirkuit terpadu terus menyusut dan presisi fotolitografi menjadi semakin halus, ketidakrataan yang sangat kecil pada wafer silikon akan menyebabkan deformasi dan dislokasi pola sirkuit terpadu. Teknologi pembuatan wafer silikon menghadapi persyaratan dan tantangan yang semakin tinggi. Ukuran partikel dan kebersihan permukaan chip juga berdampak langsung pada hasil produk semikonduktor.
Oleh karena itu, proses pemolesan sangat penting untuk meningkatkan kerataan dan kebersihan permukaan wafer silikon. Prinsip utamanya adalah meratakan permukaan wafer silikon semikonduktor dan mengurangi kekasarannya dengan menghilangkan lapisan kerusakan yang tersisa pada permukaan yang diproses.