Klasifikasi Substrat Karbida Silikon

Menurut sifat listrik yang berbeda, substrat silikon karbida dapat dibagi menjadi dua jenis: substrat silikon karbida semi-isolasi dan substrat silikon karbida konduktif. Substrat silikon karbida semi-isolasi terutama digunakan untuk memproduksi perangkat frekuensi radio galium nitrida. Dengan menumbuhkan lapisan epitaksial galium nitrida pada substrat silikon karbida semi-isolasi, wafer epitaksial galium nitrida berbasis silikon karbida diproduksi, yang selanjutnya dapat digunakan untuk memproduksi perangkat frekuensi radio galium nitrida. Substrat silikon karbida konduktif terutama digunakan dalam pembuatan perangkat daya. Berbeda dari proses pembuatan perangkat daya silikon tradisional, perangkat daya silikon karbida tidak dapat langsung diproduksi pada substrat silikon karbida. Perlu menumbuhkan lapisan epitaksial silikon karbida pada substrat konduktif untuk mendapatkan wafer epitaksial silikon karbida, dan untuk memproduksi berbagai jenis perangkat daya pada lapisan epitaksial. perangkat.